chemical vapor deposition,chemical vapour deposition /ENERGY,ENG-ELECTRICAL/
[DE] chemische Abscheidung aus der Dampfphase; chemische Abscheidung aus der Gasfphase; chemische Beschichtung aus der Gasphase; chemische Dampfabscheidung; chemisches Abscheiden aus der Gasphase; chemisches Aufdampfen
[EN] chemical vapor deposition; chemical vapour deposition
[FR] déposition en phase vapeur; dépôt chimique en phase vapeur; dépôt chimique phase vapeur; dépôt en phase vapeur; dépôt en phase vapeur par procédé chimique