sputtering /SCIENCE/
[DE] Zerspruehen; Zerstaeubung
[EN] sputtering
[FR] arrachement superficiel; érosion superficielle
sputtering /ENG-ELECTRICAL/
[DE] Kathodenzerstäubung; Sputter-Verfahren; Sputtern; Sputterverfahren; Zerstäubung; Zerstäubung durch Ionenbeschuss
[EN] sputtering
[FR] pulvérisation cathodique; pulvérisation par bombardement ionique