Zerstäubung /SCIENCE/
[DE] Zerstäubung
[EN] atomisation
[FR] atomisation; nébulisation; pulvérisation
Kathodenzerstäubung,Sputter-Verfahren,Sputtern,Sputterverfahren,Zerstäubung,Zerstäubung durch Ionenbeschuss /ENG-ELECTRICAL/
[DE] Kathodenzerstäubung; Sputter-Verfahren; Sputtern; Sputterverfahren; Zerstäubung; Zerstäubung durch Ionenbeschuss
[EN] sputtering
[FR] pulvérisation cathodique; pulvérisation par bombardement ionique